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NEWS INFORMATION顯微分光膜厚儀采用檢量線法和FP法,可防止在對焦時造成的損壞
2023-02-06 顯微分光膜厚儀利用光學干涉儀和自有的高精度分光光度計,實現非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學干涉測量法是一種使用分光光度計的光學系統獲得的反射率來確定光學膜厚的方法。以涂在金屬基板上的薄膜為例,從目標樣品上方入射的光被薄膜表面(R1)反射。此外,穿過薄膜的光在基板(金屬)和薄膜界面(R2)處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學干涉現象,并根據得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學干涉法。顯微分光膜厚儀的作用特點:1、自動對焦作用。配備激光自動對焦...公司郵箱: qgao@buybm.com
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