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當前位置:首頁產品中心光譜系統顯微缺陷膜厚Load Port對應膜厚測量系統 GS-300

Load Port對應膜厚測量系統 GS-300

產品簡介

●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

●實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊

●支持半導體工藝的高吞吐量要求

●支持槽口對齊功能

●小尺寸規格

●高精度自動校準單元

產品型號:
更新時間:2025-01-23
廠商性質:生產廠家
訪問量:302
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產品信息

測量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸

規格

Load Port對應膜厚測量系統 GS-300

測量示例

Load Port對應膜厚測量系統 GS-300










上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統。經過多年的發展,上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業內具有較高的知zhi名度和美譽度,客戶遍布全國。我們將繼續努力,不斷提升市場地位和影響力。

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