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光致發光主要對材料能帶結構,雜質濃度和缺陷,組分機理以及材料質量進行檢測。 WT-2000PL專門針對PL應用開發,具有非接觸,快速,可變溫,光斑等特點。
Semilab PV-2000A是業界功能最(zui)先進的,用于晶硅太陽能電池片生產及光伏工藝研發的非接觸電學表征系統,以滿足硅片到成品電池片不同工藝控制的測試需求。
LEI Model2017B,通過汞探針接觸方法,對各類半導體材料的載流子濃度分布進行測試,特別適合GaN.SiC等化合物材料。
汞CV測試系統,用于對外延或前道工藝中的non-pattemed晶片做汞C-V測試; MCV-530L可測最大200mm的樣品。
CV-1500,用于測試界面和介電層的科研平臺,基于SDI Corona-Kelvin技術,可以進行非接觸C-V/I-V測試。
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